Machining of
sealing surfaces for
ultra-high vacuum components

超高真空部品の
シール面加工

スーパーヘール加工

シール面加工はエンドミルによる機械加工では円を描くように切削していくため、円弧状の切削痕が残り、その切削による節目から気体が入り込んで高真空及び超高真空状態を保てなくなります。
よってエンドミルでの加工後に円弧状の切削による節目が消えるまで手作業で根気よくシール面の磨きを行う必要がありますが、スーパーヘール加工なら超高真空シール面でも磨きレスに。

What is “Super Hale Processing”?

スーパーヘール加工とは

独自形状のスーパーヘール用バイトと高速制御技術の組合せにて立形マシニングセンタでしか得られなかった高品位な加工面を高速横形マシニングセンタで実現します。揺らぎや横筋の発生を抑え、超高真空シール面でも磨きレスで適用出来るレベルです。

Product Examples

製品例

  • 半導体製造装置の真空チャンバー
  • 真空バルブ
  • 圧力容器

Examples of Aluminum Processing

アルミニウムの加工事例

矢印:加工方向

被削材 アルミニウム
シール面 幅 10mm
深さ 0.03mm
ワークサイズ 90 x 55 x 10 mm
送り速度 6,000 mm/min
工具材 超硬
仕上面粗さ

※右記画像を参照ください。

※上記画像を参照ください。

①Ra0.304µm
②Ra0.330µm
③Ra0.315µm
④Ra0.356µm

Difference from
conventional hailing process

一般的なヘール加工との違い

一般的なヘール加工

スーパーヘール加工

従来のヘール加工ではコーナー部手前等に横筋が発生していましたが、スーパーヘール加工により、横筋や揺らぎの発生を抑え、超高真空シール面でも磨きレスで加工可能です。

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